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单晶硅生产用石英坩埚应具备的要求

石英坩埚是拉制单晶硅的消耗性器皿,因为其是大规模集成电路的原材料,所以对石英坩埚的要求十分严苛,它的纯度和质量会直接影响单晶硅的产量和质量,主要有以下几方面的要求:
  1.材质必须是高纯度半导体级,且纯度要高,有害化学小于20x10﹣6;
  2.耐高温性强,在高温过程中保持高电阻率及防止软化;
  3.石英坩埚的尺寸大,国外已普遍使用22英寸及36英寸的坩埚;
  4.气泡要少,气泡在生产中不长大;
  5.规格精度高,耐温性能好。
  以上就是石英坩埚在生产单晶硅中需要具备的五点要求。随着相关产业的不断发展,对半导体材料用石英制品及相关材料提出了更高的要求
小编:Dick

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